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低溫等離子滅菌器既可對金屬醫(yī)療器械進行低溫滅菌，也可對非金屬醫(yī)療器械進行低溫滅菌。通過過氧化氫在艙室內(nèi)擴散，然后將過氧化氫“激勵”成等離子體狀態(tài)，對醫(yī)療器械進行滅菌。

過氧化氫滅菌器采用微電腦自動控制，由滅菌室主體、真空泵、過氧化氫注入系統(tǒng)、高頻電源等組成，以百分56-63的過氧化氫為滅菌劑，可殺死細菌芽孢。

過氧化氫低溫等離子滅菌器是1990年代開始面世的一項新低溫滅菌技術(shù)。等離子體被認(rèn)為是液態(tài)、氣態(tài)、固態(tài)之外的第四種狀態(tài)，是氣體分子在極度真空的腔體內(nèi)受激發(fā)而形成的。